半導体やディスプレイデバイス製造ではドライエッチングやCVD等のプラズマプロセスが多用されるが、基板表面温度の計測・制御がしばしば課題となる。
プロセス中にプラズマからの入熱があるため、刻々と変化する表面温度を計測する有効な手段が無いためである。
本事業では、光学干渉非接触温度測定法（Optical Interference Contactless Thermometry : OICT）をベースに、省スペース且つリアルタイムで基板表面温度を計測可能なシステムを構築し、課題解決のソリューションを提供することを目的と
する。
